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產(chǎn)品名稱：SIMCO離子發(fā)生器4210
產(chǎn)品型號(hào)：SIMCO 4210
產(chǎn)品廠商：美國SIMCO思美高靜電產(chǎn)品
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簡(jiǎn)單介紹：

SIMCO離子發(fā)生器4210 很多高科技產(chǎn)業(yè)都依賴離子產(chǎn)生器來處理由靜電所引起的控制問題 - 增加良率，降低停機(jī)時(shí)間和微控鎖定，和降低操作成本。但在微環(huán)境和制程設(shè)備內(nèi)，有時(shí)會(huì)限制離子產(chǎn)生器安裝在它們*重要的生產(chǎn)空間內(nèi)。SIMCO離子發(fā)生器4210

詳情介紹：

SIMCO離子發(fā)生器4210

很多高科技產(chǎn)業(yè)都依賴離子產(chǎn)生器來處理由靜電所引起的控制問題 - 增加良率，降低停機(jī)時(shí)間和微控鎖定，和降低操作成本。但在微環(huán)境和制程設(shè)備內(nèi)，有時(shí)會(huì)限制離子產(chǎn)生器安裝在它們*重要的生產(chǎn)空間內(nèi)。

在制程設(shè)備內(nèi)的有限工作空間，或靠近一些敏感的部件，安裝離子產(chǎn)生器會(huì)有限制，型號(hào) 4210在線氣體離子產(chǎn)生器可電離通過的壓縮氣體來產(chǎn)生和輸出數(shù)量相同的正負(fù)離子，透過 Teflon? 管道連接，輸進(jìn)吹入到靜電敏感區(qū)，處理靜電問題。復(fù)合管道可定制，以避免設(shè)備內(nèi)的移動(dòng)部件。

? 容易連接的復(fù)合管道	? 精準(zhǔn)輸送平衡的離子到狹小的空間，*佳用在不能把靜電針曝露
? 可用 CDA 或氮?dú)?/span> (Nitrogen)	的地方
? IsoStat® 磚利技術(shù)	? 應(yīng)用廣范
? 穩(wěn)態(tài)直流電離	? 無需調(diào)較
? 超高潔凈的靜電針 (型號(hào) 4210u 或 4210un)	? 快速消散時(shí)間
? 超高潔凈結(jié)購，嚴(yán)控的輸出電流和幾何結(jié)構(gòu)	? 提供 ISO 14644-1 Class 3 潔凈度
	? 免維護(hù)可達(dá)兩年

當(dāng)氣源是超高潔凈時(shí)，4210u/4210un 能提供比 ISO Class3的操作潔凈度。小心選擇的材料和控制的內(nèi)部幾何結(jié)
構(gòu)，確保超高潔凈的離子輸送。

4210 離子產(chǎn)生器可應(yīng)用在不同晶圓制程上的靜電控制，如曝光機(jī)，旋干機(jī)，載入和送出機(jī)站，晶圓管理系統(tǒng)，和熱爐管等

4210 有不同版本可選，可用 CDA 或 Nitrogen，可選超高潔凈的單晶硅針或高輸出的鎢針。

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產(chǎn)品名稱：SIMCO離子發(fā)生器4210